中央超純水供應系統采用集中制備，分質供水。所謂中央集中制水、分質供水，就是用一套水處理系統對自來水進行深度處理，使其達到各科室可直接使用的水質標準，再分別用管網供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設計；任一套故障或檢修時，另一套能確保正常制水；控制系統為自動和手動各一套，正常運作時為全自動控制，可無人值守運走，自動控制故障時，手動控制可保證設備運作，確保正常供水。
系統特點說明：
1、顯示控制器、動畫式流程圖，實時顯示并監控各水處理單元工藝運行狀態；
2、運行狀態及參數在線顯示：流量在線顯示、壓力在線顯示、源水水質和產水水質在線監測及數字顯示等，實時了解設備運行情況，方便對系統運行狀態進行監控和分析；
3、所有水箱液位全自動控制：中間水箱、純水箱、水箱之間的設備連接不僅實現聯動，同時保護每臺泵不至空轉而損壞；
4、產品水質在線監測與不合格水循環處理：為保證用水點水質符合要求，主機產水水質實時在線監測，并設有水質反饋裝置，不合格水質循環再處理；
5、具備自動沖洗管網功能，定期對管路進行清洗，以保持管道內部潔凈，管路沖洗時，可直接排放，也可回流到制水設備主機重新利用，以節約水源；
中央超純水供應系統總體來說一般可分為三個部分：
超純水制造區（CUB部分）；
超純水拋光循環區（FAB部分）；
超純水輸送管網（FAB各使用區）。
其中超純水制造區最為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。
預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；
一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；
超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器。
但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。
